Aixtron發表MOCVD技術之最新進展

日前,Aixtron AG研發副總裁Michael Heuken先生,就其MOCVD技術所取得的最新進展以及未來技術發展趨勢等做了簡要說明。

據瞭解,愛思強混合了大尺寸和多片式的MOCVD設備,並且LED設備領域的市場佔有率已高達70%,愛思強是世界上最大的MOCVD設備供應商,有很大的研發中心。那麼,愛思強未來設備的主流方向如何?對於LED製造來說,目前最明顯的關鍵性挑戰依然是降低每流明的成本、提高LED的效率。Michael Heuken表示,LED的成本要從整個壽命來衡量,從每個設備使用情況來看,愛思強會用各種可能性去降低LED成本,其中包括外延片成本和封裝成本,而設備和封裝費用會很高,就整個成本而言,外延片的成本相對來說還是較低的,只佔很小的一部分。同時,愛思強會幫助LED生產商來降低成本。從整個策略來看,愛思強的研發方向當然還是大尺寸的外延片,也有多片式的。

在MOCVD技術所取得的最新進展方面,Michael Heuken表示,該公司的MOCVD系統主要基於兩個獨特技術:Planetary Reactor® 和Close Coupled Showerhead® (CCS®),兩種系統都提供了很高的吞吐率、卓越的一致性和工藝重複能力,可實現高成品率和高擁有成本的獲利能力。這兩種技術都可在通用平台上實現,為用戶帶來了更高的靈活性和可擴展性。該公司的MOCVD系統具有多種尺寸晶圓的工藝處理能力,從2吋、3吋、4吋、6吋、8吋甚至到12吋,都能夠滿足客戶不斷地追求降低製造成本的需求。此外,愛思強在其他一些極具吸引力的新興技術上也佔據一定地位。以OVPD(有機物氣相沉積)技術為例,一旦一些關鍵的性能指標如發光效率和壽命可以實現,OLED預計將在未來的固態照明領域扮演重要角色。Michael Heuken表示,未來,該公司的研發策略將會緊密跟隨市場需求,將預期的技術需求轉化為MOCVD研發團隊的技術目標。

Michael Heuken表示,首先,愛思強的核心競爭力和實力在於能夠提供複雜氣相沉積工藝所需的技術和設備,對於各個不同的終端市場,會採用不同的戰略、差異化和不同成熟度的技術。其次,愛思強有充足的產能設備來滿足面對現階段MOCVD龐大的市場需求。LED市場正變得更加成熟,因此愛思強愈加重視成本和生產力的改進。隨著最初的技術障礙被逐步消除,產業焦點也相應轉移到成本與生產力上。此外,愛思強還致力於瞭解客戶需求,並積極分析未來市場趨勢,以此來鞏固世界第一的領導廠商地位。

Michael Heuken指出,目前可以說是擴大LED產業的絕好機會,中國大陸和台灣是非常重要的市場,LED產業的發展對國家、公眾和環境都非常重要。在創造利潤的同時,也可為公眾帶來好處。LED不但是綠色節能產品,而且還可以在這個領域創造豐厚的利潤。因此,在這個重要時期,在中國有必要發展LED技術。

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