日廠住友電工首創綠色雷射用2吋GaN基板量產技術

繼2009年研發出波長531 nm、可應用於雷射電視及可攜式雷射投影機的原生綠色雷射技術後,日廠住友電工近日又利用自家研發的H-VPE(hydride vapor phase epitaxy)製造技術,成功研發出可使用於原生(直接)綠色雷射、尺寸達2吋,位錯密度(Dislocation density)達10的5次方的半極性及非極性氮化鎵(GaN)基板。該基板將有效增進綠色雷射及白色LED的性能。

據悉,現行的製造技術僅能製作出數mm左右大小的長方形GaN基板。住友的GaN基板,突破這一量產元件的瓶頸,即使與現行已進行量產的GaN基板結晶面(crystal face)相比,也毫不遜色。

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