近日,北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司研製的ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機,中標上海藍光LED項目。 北方微電子自主研製生產的ELEDE 330,是中國首台直接面向LED大生產線的ICP刻蝕系統,實現了北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展。 此前不久,北方微電子研製的高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發項目。