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東芝株式會社(TOKYO:6502)與SanDisk公司(NASDAQ:SNDK) 日前聯合宣布,雙方共同投資的300毫米NAND快閃記憶體晶圓廠“Fab 5”正式開張,投產24nm工藝快閃記憶體晶元。
Fab 5由東芝、SanDisk 2010年9月聯合投資成立的Flash Forward, Ltd.公司負責運營,雙方分別持有50.1%、49.9%的資本,員工300多人。該工廠于2010年破土動工,2011年3月份完工,如今正式投入量產,並計劃在8月份出貨第一批晶圓。
目前,Fab 5開始投產的24nm NAND快閃記憶體工藝,是業內最先進的快閃記憶體製造工藝技術,于2010年8月份首次投入量產。Fab 5採用新近宣布的全球最小、最先進的工藝節點——19納米製造技術;未來,Fab 5將過渡到更高級的工藝製程。
Fab 5是東芝的第三座300毫米晶圓廠,廠區總面積18.7萬平方米,建築面積3.8萬平方米,主體是一棟五層大樓,雙層鋼筋混凝土加高級防震結構。通過LED照明和節能製造設備等措施,Fab 5預計將會比Fab 4減少12%的二氧化碳排放量,同時水循環系統也與Fab 3、Fab 4連接在一起,進一步保證高效生產。