廣東省積極推動MOCVD設備國產化,中科宏微國產MOCVD項目獲支持

日前,廣東省省科技廳李興華廳長主持召開廣東省中科宏微半導體設備有限公司國產MOCVD項目協調會,專題研究解決省財政資金撥付問題。廣東省省科技廳葉景圖副廳長,省財政廳國庫支付處、政府採購處、工貿發展處負責同志,省工業技術研究院邱顯揚院長、陳志祥副院長,中國科學院半導體研究所李晉閩所長、廣東省中科宏微半導體設備有限公司總經理曾一平等領導出席會議。

會議上聽取了省工業技術研究院、中國科學院半導體研究所等單位對國產MOCVD項目工作進展的情況彙報,以及關於省財政資金撥付存在的問題和有關建議。省科技廳、省財政廳相關負責同志充分肯定了項目實施取得的積極成效,與項目承擔單位就相應解決方案交換了意見,並就項目承擔單位變更等事項達成初步共識。雙方同意為項目開闢綠色通道,保證資金順利到位,推動項目實施早見成效。協調會對推動“MOCVD設備國產化”項目實施以及中科宏微公司建設起到了積極的促進作用。

李興華廳長表示,對省財政廳給予項目的大力支持表示感謝,並強調國產MOCVD設備是全面提升LED產業自主創新能力和產業競爭力的重要突破口,要聯合政產學研多方力量,加強溝通協調,形成合力,儘快突破LED產業的核心技術,搶佔產業競爭的制高點。

根據省領導的重要批示,經省科技廳全力爭取和推動,中科院半導體所與省工業技術研究院等省內單位合作共建廣東省中科宏微半導體設備有限公司(以下簡稱中科宏微公司),推動LED國產MOCVD的商業化。截至目前,在承擔單位的共同努力下,中科宏微公司廠房超凈系統已交付使用,首台48片國產MOCVD設備已經到位並正進行工藝調試,氮化鎵外延片沉積和產品測試進展順利,整機設備可望于年底正式下線並交付使用。
 

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