英飛凌12英吋晶圓功率半導體元件初期生產成功

德國英飛凌科技(Infineon Technologies)利用12英吋(300mm)口徑硅晶圓基板的功率半導體元件初期生產獲得了成功。

英飛凌市場營銷及分銷高級副總裁Anton Mueller表示,目前功率元件中使用的硅晶圓口徑最大為200mm。“我們是業界第一家”證實了採用300mm晶圓可以製造出與200mm晶圓功率元件具有同等工作特性的產品。此次雖沒有透露量產開始的時間,但Anton Mueller表示“2012年下半年將結束(開始量產所必需的)驗證工作,那之後將開始量產”。

英飛凌在奧地利的菲拉赫研發採用300mm晶圓的功率元件,並於2010年10月開始著手建立試產線(Pilot Line)。採用300mm晶圓的功率元件量產基地設在德國德累斯頓。預定在2014年之前投入約2億5000萬歐元用於建設量產基地。

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