Veeco公司（納斯達克股票代碼：VECO）今日宣布推出3款新型市場領先的TurboDisc®金屬有機化學氣象沉積設備（MOCVD），用於生產高亮度發光二級管(LEDs): TurboDisc MaxBright® M™， TurboDisc MaxBright MHP™以及TurboDisc K465i HP™。

MaxBright M:更緊湊的模塊化Veeco多反應腔設備。與MaxBright相比MaxBright M能提供更好的服務便利性，廠房面積利用率提高15%。該機型具有更好的布局配置靈活性以適應不同客戶的場地要求。

MaxBright MHP:模塊化的“M”機型中的高性能版。MaxBright MHP的片內波長均勻性比MaxBright提高了20%。由於技術進步，熱性能和流動性能得到改善，因此良率得以提高。與MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。

K465i HP:是Veeco的單反應腔MOCVD設備的高性能版。與K465i相比片內波長均勻性提高20%而使用成本更低。

這些新設備均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圓生長。現有的MaxBright和K465i設備都能很容易地現場升級到高性能版。所有Veeco的MOCVD設備都擁有維護需求低的TurboDisc技術，從而具有最長的設備連續生產時間和最高產量。

 Veeco工藝設備執行副總裁William J. Miller博士表示：“這一系列新產品為我們客戶的資金投資以及在客戶獨特的生產環境下設備更好運行提供了極大的靈活性。MaxBright M, MaxBright MHP以及K465i HP的創新源於我們傾聽了客戶的意見和專註于改善設備性能，從而推動了產量和良率的提高。產量和良率正是我們客戶成功的2個關鍵因素。”

Veeco主席&首席執行官John R. Peeler 補充道：“基於我們在業內領先的技術和自動化的專業程度而推出的這套新產品系列，可以幫助降低生產成本，從而加速全球LED照明普及。 Veeco公司將繼續致力於提供業界最大容量，最高產量和最低使用成本的MOCVD設備。”

據IMS調查，2010年推出的K465i設備是該年度最暢銷的MOCVD設備。2011年推出的MaxBright是去年最暢銷的機台。化合物半導體雜誌最近為Veeco公司頒發了“化合物半導體製造獎”，評價道“MaxBright設備是化合物半導體製造業在過去一年中的最大突破”.