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據日本媒體報道,日本橫河電機和SUN-S擬於2012年10月1日開始發售能夠同時檢測4個照明用發光二極體(LED)晶元的系統“高亮度LED檢測系統”,其價格為1,732.50萬日元(約合22.1349萬美元,1美元=78.2700日元)起。兩公司力爭在2013年3月期(2012年4月1日至2013年3月31日)合計銷售30台。
據悉,該系統結合了兩公司的高速光譜測定及半導體製造裝置相關技術,通過將檢測時的晶元發熱控制至最小限度,實現同時檢測多個晶元。與單個檢測相比,能將檢測時間縮短60%,大幅削減檢測費用。
在“高亮度LED檢測系統”開發之時,橫河電機新開發了測定光學特性的光譜儀、測定電力特性和輸出驅動電流及檢測信號的裝置,SUN-S新開發了專用探測器。通過同時向LED輸入驅動電流和進行光學特性的測定,能夠在短時間內完成測定並將驅動電源的發熱控制至最小限度。