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LEDinside消息,江蘇中晟半導體設備有限公司的全資子公司,中晟光電設備(上海)有限公司在2012年12月12號成功出貨中國首台具有世界先進水準的大型國產MOCVD設備給客戶。這不僅標誌著在實現中國大型MOCVD設備國產化戰略目標的征途上,中晟邁開了具有里程碑意義的一步,而且充分體現了中國有能力在高端裝備領域實現跨越式的發展。中國工信部、上海市經信委、浦東新區、張江、常州及金壇各級領導和5家客戶,參加了中晟12月12號舉行的首台設備的發運慶典。
LEDinside了解到,江蘇中晟半導體設備有限公司做了大量的製程驗證,此設備在Alpha測試階段的爐子調試中,最少都是跑200到400爐次(runs),這是在Beta產品出貨前的測試規模,目前已經正式出貨,標榜了一定的測試品質。
作為LED晶圓生產過程中最為關鍵的設備,MOCVD的核心技術長期被歐美企業所壟斷,對中國LED產業想要能夠垂直化或自有生產LED晶片而言,一直是個障礙。但市場上之前的過度投資,反而導致市面上LED產能過剩的不健康發展。
隨著LED照明逐漸成為LED產業發展的主要推動力,現有被壟斷的設備,長期來看,或許不能滿足LED大規模生產和產業高速發展的需要,這為中國實現大型MOCVD設備國產化戰略目標,提供了一個跨越式發展的契機。
中晟公司僅用了10個月的時間,也就是在2012年初1月18日,就成功實現了MOCVD生產機型。接著,只用了10個月時間,又完成了製程技術的開發,以及硬體設備進一步的改進優化,完成了設備產業化生產必備條件與設施的建立。
該公司也在此基礎上又完成了4家客戶的多次實地考察,親臨操作設備和驗證各項製程。相關的客戶肯定了中晟設備的技術方向和設計上的先進性,也對設備用於大規模生產提出了進一步改進的建設性要求。
根據LEDinside的了解,這款MOCVD機台,在2吋藍寶石基板的規劃上,爐子一次可以承載六十幾片到八十幾片。