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日前,中國首台具有世界先進水準的大型國產MOCVD設備發運慶典在上海張江高新區核心園發運,實現了中國大型MOCVD設備國產化的戰略目標。
MOCVD是在氣相外延生長基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。作為LED晶片生產過程中最為關鍵的設備,MOCVD的核心技術長期被歐美企業所壟斷,嚴重制約了中國LED產業的健康發展。
中晟光電設備(上海)有限公司於今年初1月18日成功實現了擁有自主創新智慧財產權的具有世界先進水準的大型國產MOCVD設備下線,僅用了10個月時間,又完成了工藝的開發和設備進一步的改進優化,完成了設備產業化生產必備條件與設施的建立;在此基礎上又完成了4家客戶的多次實地考察,親臨操作設備和驗證各項工藝。
客戶對中晟MOVCD的評價是具有4個核心競爭力:
一是具有目前世界上最高的系統產能;
二是具有最低的外延生產成本;
三是具有良好的波長均勻性;
四是具有大規模外延生產所需的各項關鍵性能。尤為重要的是,這些核心差異競爭力都具有自主創新的智慧財產權。