|
|
大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)是日本一家有機金屬氣相沉積機台(MOCVD)的製造商,與工研院共同合作開發近紫外光發光二極體於氮化鎵基板之光電元件,使用的機台為大陽日酸的常壓磊晶機台。
此機台有相當多的優勢在於成長近紫外光發光二極體:包含高長速下之低碳背景雜質濃度之氮化鎵薄膜、高發光效率之低銦含量之氮化鋁鎵發光層、可維 持一定值壓力成長高品質之氮化銦鎵和氮化鋁鎵薄膜,並結合氮化鎵基板之低缺陷密度之特性,極具潛力發展高效率之近紫外光發光二極體元件,相信在工研院與大陽日酸的合作下,將有助於研發出新的近紫外光發光二極體技術,並促進氮化鎵成長於氮化鎵基板之相關應用。