愛思強（AIXTRON）股份有限公司今日宣佈，上海大學為其中瑞聯合微系統集成技術中心(SMIT)訂購了一套BM 研發反應器。愛思強用於碳奈米管及石墨烯生產的研發系統具有高度靈活性，已在全球多個客戶據點展示出卓越成果。

負責領導SMIT 石墨烯／奈米管研究的劉建影教授表示：「通過採用BM系統的熱化學氣相沉積或等離子強化化學氣相沉積模式，我們將會推出大量關於奈米管和石墨烯應用的全新 研究。由於我們與瑞典查爾姆斯理工大學在BM 反應器的長期合作上取得了卓越成效，所以選擇了愛思強的系統。在過去五年裡，該系統是同類研究的主力所在，它不斷為我們帶來理想成效、高標準正常運轉率、 易操作性和工藝靈活性。」

劉教授將在SMIT 利用BM 反應器為半導體晶片封裝技術研發新一代的導熱／散熱介質材料、導熱片、多晶片連接器以及矽導通孔(TSV)。

中瑞聯合微系統集成技術中心成立於2003 年，是一家綜合上海大學與瑞典哥德堡查爾姆斯理工大學專業技術的著名研究機構。作為一個跨國機構，該中心從事微系統和微電子集成技術的研究工作，並重點關注日後工業應用的微系統新技術發展。

查爾姆斯理工大學在石墨烯研究方面擁有豐富經驗。該大學負責領導歐盟未來新興技術 (FET)「石墨烯」旗艦專案，其中AIXTRON 愛思強在「石墨烯旗艦專案」研究中起到舉足輕重的作用。AIXTRON 愛思強憑藉其扎實的專業知識，通過研發新一代沉積設備以實現優質石墨烯的大規模生產。