有機金屬化學氣相沉積系統（MOCVD）設備大廠美國威科儀器（Veeco）於10月2日宣布，美國紐約東區地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon, LLC（SGL）的一項初期禁制令請求，該公司是中微半導體設備有限公司（AMEC）的晶圓載盤供應商。該禁制令禁止SGL出售供採用了Veeco專利技術的無基板金屬有機化學氣相沉積系統（MOCVD）使用的晶圓載盤，包括專為AMEC MOCVD系統設計的晶圓載盤。

 

Veeco公司董事長兼首席執行官John R. Peeler說：「這項裁決肯定了Veeco智慧財產權及其全球專利組合的實力。Veeco狠抓智慧財產權工作，並堅決維護其在研發方面的重大投資，包括其在美國、歐洲和亞洲的專利，特別是在中國。」

 

上述裁決立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明確授權的情況下出貨採用了Veeco專利技術的晶圓載盤。這也意味著禁止SGL提供用於所有AMEC MOCVD系統的晶圓載盤。法院還裁定，儘管SGL持相反論點，Veeco公司關於「無基板MOCVD反應腔使用的Veeco晶圓載體專利受到SGL的侵犯且該專利有效」的聲稱得到認同的可能性很大。SGL曾經辯稱，其晶圓載盤是基於AMEC的規格。這項裁決顯示，AMEC不尊重Veeco的智慧財產權。在專利案件中，初期禁制令是很罕見的，因為在陪審團對專利侵權作出判決之前頒布禁售令有非常嚴格的法律要求。因此，這一裁決顯示了SGL和AMEC侵犯Veeco智慧財產權的明確性質。

 

Veeco於2017年4月12日在紐約東區的聯邦法院對SGL Carbon, LLC和SGL Carbon SE展開了專利侵權訴訟。SGL生產用於無基板MOCVD系統的晶圓載盤。除了臨時禁制令之外，Veeco正在尋求永久性禁制令以及經濟賠償等。

 

（編譯：LEDinside Nicole）