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設備廠商Veeco宣布,將和法國3D LED製造商Aledia合作。Veeco將提供有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)設備,進一步協助Aledia從事研發工作。Aledia目前正在研發新一代的3D LED顯示技術,希望透過與Veeco合作,突破技術瓶頸。
Aledia創立於2011年,透過矽晶平台氮化鎵奈米線技術,研發3D LED顯示技術。旗下產品可在8英寸晶圓上製造,不僅節能,解析度也高。這項技術能應用在智慧手錶、智慧型手機、筆電、虛擬實境、擴增實境等產品的顯示器上。
這次Veeco提供Aledia的MOCVD設備,採用的單晶圓反應器,是以Veeco研發的TurboDisc 設計為基礎,生產出6到8英寸的晶圓片,或是2到4英寸的小批次模板。
Aledia表示,這套MOCVD設備擁有大型製程視窗、單一晶圓反應爐技術等優點,因此才決定採用。發言人也指出,搭配這套系統的研發成果最理想,同時也能讓整片晶圓均質化,能夠讓公司在3D LED顯示技術上,有進一步突破。