日前，美國半導體設備供應商Axus Technolog宣佈與Compound Photonics（CP）開展新的合作，目標是加速推動5 μm像素以下的Micro LED走向大眾市場。

Axus與CP將共同整合Micro LED晶圓級技術，以量產CP的2μm、1080P Micro LED顯示器，用於下一代AR眼鏡。值得注意的是，Axus將部署配置集成式化學機械研磨後清洗（Post CMP Cleaning)）功能的Capstone CMP系統，以提供晶圓平面化和表面處理解決方案，實現Micro LED晶圓與CMOS背板的接合。

Axus的CMP處理能力對實現CP專有的小間距Micro LED整合技術而言相當重要。Capstone CMP系統提供多晶圓的可重複性和晶圓內的平面性能，實現Micro LED和CMOS背板晶片之間數百萬微米級的電接觸，生產出具視覺一致性的Micro LED模組。這些Micro LED模組可滿足小型、低功率、高亮度AR/MR等近眼顯示器應用的需求。

(圖片來源：Compound Photonics)

另值得一提的是，在發展可穿戴設備用單片Micro LED顯示技術的道路上，除了CP，Plessey也選擇了與Axus強強聯合，三家公司之間合作關係緊密。

今年2月初，Plessey宣佈與Axus達成合作，雙方合作的領域是高性能矽基氮化鎵單片Micro LED，前者向後者採購金屬及氧化物CMP和相關工具，實現Micro LED晶圓與高性能CMOS背板的晶圓級接合。

同月，Plessey與CP也達成戰略合作關係，並宣佈生產出首批完全可定址的AR/MR用Micro LED顯示器模組，點亮第一個0.26吋綠色Micro LED顯示模組。

迄今為止，CP、Plessey、JBD、Vuzix、Facebook等全球範圍內大廠的動態均表明，Micro LED正在持續成為最有潛力滿足AR/MR應用關鍵需求的顯示解決方案。因此，對於降低成本和量產商用化AR/MR頭戴式設備而言，Micro LED製程技術的創新起到關鍵作用。（文：LEDinside Janice）