中微公司2日在接受調研時表示，用於高性能Mini LED量產的MOCVD設備Prismo UniMax在客戶端進度良好。

中微公司表示，目前公司在手訂單飽滿，公司將不斷優化資源配置，多途徑積極提升產能，以滿足客戶交貨需求。

原材料採購和供應情況方面，中微公司目前供應鏈穩定，少量零部件交期較以往有所延長。公司建立了全面的供應商評價管理體系，主要零部件供應商數量較多且保持良好的合作關係，單一供應商採購金額佔比不高，其中核心零部件的採購採取多廠商策略，分佈在全球各地。

此外，ICP刻蝕產品發展情況方面，中微公司的電感性等離子刻蝕設備已經在多個邏輯晶片和儲存晶片廠商的生產線上量產，截止2020年底，公司的ICP設備PrimoNanova設備已有55個反應台在客戶端運轉，2021年6月，公司ICP設備PrimoNanova第100台反應腔順利交付，經過客戶驗證的應用數量也在持續增加。

根據客戶的技術發展需求，中微公司正在進行下一代產品的技術研發，以滿足5奈米以下的邏輯晶片、1X奈米的DRAM晶片和128層以上的3DNAND晶片等產品的ICP刻蝕需求，並進行高產出的ICP刻蝕設備的研發。

中微公司表示，公司不斷在客戶驗證更多成熟製程和先進製程，在CCP和ICP刻蝕方面的應用拓展都取得了良好進展，已於今年6月付運了首台8英寸CCP刻蝕設備。

（LEDinside整理；首圖來源：中微）