10月25日，中微公司宣布其全球第500台MOCVD設備順利付運國內領先的LED外延片和晶片研發生產製造商。

據悉，本批次運付的第500台MOCVD設備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax，主要用於氮化鎵基Mini LED外延片量產。

中微公司介紹，做為專為高性能Mini LED量產而設計的MOCVD設備，Prismo UniMax具備高產能和高靈活性的特點，在同一系統中可配備多達4個反應腔，每個反應腔均可實現獨立控制。

同時，Prismo UniMax配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現同時加工164片4吋或72片6吋外延晶片，有效提高產能並降低生產成本。

此外，Prismo UniMax創新的多區輔助加熱調節系統，能精確控制托盤局部區域溫度，有助於更大程度提升LED波長均勻性。

中微公司表示，公司開發的一系列MOCVD設備在行業內主要的LED生產線上已全面投入量產。Prismo UniMax是MOCVD設備系列新一代產品，該產品系列還包括Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。

（首圖來源：中微公司）