LG開發Micro LED巨量轉移新技術,轉移良率達99.99%

南韓LG電子材料與器件高級研究中心研究員3日於《自然》(nature)期刊發表論文,提出新Micro LED巨量轉移方案,可15分鐘內完成RGB三色LED轉移,轉移良率達99.99%。

Micro LED技術正商業化用於數位號誌等大尺寸螢幕,且LED與顯示業正針對Micro LED其他應用開發,如AR / VR設備、可撓性顯示幕、生物成像等。

然而,Micro LED巨量轉移仍面臨阻礙,需提高效率、良率及相容第十代以上(2,940×3,370mm²)玻璃基板,Micro LED技術才能進入主流市場並與液晶和OLED競爭。

為提高Micro LED巨量轉移效率,論文提出基於流體自組裝(fluidic self-assembly,FSA)技術的新巨量轉移法,稱為磁力輔助介電泳自組裝技術(magnetic-force-assisted dielectrophoretic self-assembly technology,MDSAT),結合磁力和介電泳(DEP)力,可紅光、綠光和藍光Micro LED同時轉移,且15分內轉移良率為99.99%。

磁力輔助介電電泳自組裝(MDSAT)技術原理。

原理是透過Micro LED嵌入磁鐵控制的鎳,並以受體孔為中心施加局部介電泳(DEP)力,Micro LED可有效抓取並組裝至受體位點。

DEP力與Micro LED組裝方式和轉移良率關係。

研究員展示如何透過Micro LED和受體形狀相容,同時組裝RGB三色Micro LED。

形狀不相容缺陷的顯微鏡圖像和示意圖及DEP力和轉移產量變化為受體孔高度的函數。

無源矩陣微發光二極管Micro LED面板圖像,I-V特性和RGB光譜。

研究員以新轉移技術製造出無源矩陣發光面板,有無損傷轉移特性和均勻的RGB電致發光特性。上述特性證明MDSAT技術是優秀的巨量轉移候選方案,可幫助主流Micro LED商業產品量產。(LEDinside Irving編譯)

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