4月28日，中微公司宣布，董事會已審議通過《關於通過上海聯合產權交易所競購睿勵科學儀器（上海）有限公司6.7575%股權暨關聯交易的議案》。根據當時公告內容，國家集成電路產業投資基金將持有的睿勵科學儀器的股權掛牌出售，掛牌價為5,790.21萬元（人民幣，下同）。

5月18日，中微公司發布公告稱，公司已以掛牌價取得睿勵科學儀器6.7575%股權。

官網資料顯示，睿勵科學儀器成立於2005年6月，主要致力於研發、生產和銷售具有自主智慧財產權的集成電路生產製程裝備產業中的製程檢測設備。

據悉，集成電路晶片生產設備包括光刻、刻蝕、薄膜、製程檢測、清洗、離子注入等諸多個細分種類，而製程檢測設備是為晶片生產各製程提供監測數據，以確保各項製程指標滿足要求，進而提高成品率的關鍵性設備。隨著晶片製程不斷向更小節點發展，晶片生產過程中的所需檢測的步驟和頻次越來越高，對製程檢測設備的需求量隨之增加。

因此，中微公司指出，本次競購睿勵科學儀器6.7575%股權是出於公司戰略發展的需要，該舉措有利於進一步促進公司產業鏈延伸、有利於公司培育新的業務增長點，促進公司健康發展。

據悉，中微公司主要從事高階半導體設備及泛半導體設備的研發、生產和銷售，業務涉及半導體集成電路製造、先進封裝、LED外延片生產、功率器件、MEMS製造以及其他微觀製程的高階設備領域。

2022年，中微公司實現營業收入47.40億元，較上年同期增長52.50%。對比，公司表示，主要是由於：

1. 等離子體刻蝕設備是除光刻機外最關鍵、製程難度最高的半導體前道加工設備，而公司的等離子體刻蝕設備在中國內外持續獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高，在國際最先進的5奈米晶片生產線及下一代更先進的生產線上均實現多次批量銷售。

2. 公司的另一類主打產品MOCVD設備在新一代Mini LED產業化中、在藍綠光LED生產線上取得絕對領先的地位。

2022年年報中，中微公司表示，截至2022年，公司累計MOCVD產品出貨量超過500腔，持續保持國際氮化鎵基MOCVD設備市場領先地位。其中Prismo UniMax產品自2021年6月正式發布以來，憑藉其高產量、高波長均勻性、高良率等優點，受到下游客戶的廣泛認可，累計出貨量已超過120腔，在Mini LED顯示外延片生產設備領域處於國際領先。

3. 公司的各種新產品開發，比如用於更先進微觀器件製程的薄膜設備和刻蝕設備，也取得可喜的進展。

（LEDinside Lynn整理）