諾視科技 Micro LED 像素垂直堆疊取得重大進展

9月12日,Micro LED微顯示晶片公司諾視科技宣布近日成功打通垂直堆疊(VSP)製程流程,實現AlGaInP和GaN材料體系的單片集成。

據介紹,該技術採用晶圓級堆疊(WLVSP)技術方案,在完成AlGaInP紅光微顯示晶片製備後,繼續堆疊InGaN晶圓材料,可實現單個驅動背板上的像素垂直堆疊。

諾視科技表示,這是公司在點亮0.39英吋以及其全球最小的0.12英吋紅、綠、藍三原色微顯示晶片後,在VSP技術上的又一突破,在完成全波段布局後,向單片全彩Micro LED微顯示晶片更進一步。

▲ 諾視科技RGB三原色微顯示晶片。(Source:諾視科技,下同)

諾視科技表示,VSP技術具有大尺寸晶圓兼容優勢。而公司已於今年初完成8英吋矽基Micro LED微顯示晶片的研發流片通線,驗證了VSP技術大尺寸晶圓量產的可行性並完成相關技術儲備,經測算,該技術路線可以大幅度降低Micro LED亟待解決的成本問題。

▲ 諾視科技8英吋及4英吋Micro LED微顯示晶圓。

官方顯示,諾視科技成立於2021年,聚焦於Micro LED晶片研發、生產及銷售。諾視團隊是中國最早一批參與研發和小批量生產Micro LED微顯示螢幕晶片的團隊,也是中國首個深度融合集成電路製造工藝和Micro LED晶片製造的團隊。

諾視科技特有的VSP技術,可結合8英吋集成電路製程產線,具有高性能、低成本、高良率的量產特性,在同一技術路線上可以同時輸出Micro LED巨轉晶片與微顯示螢幕兩種產品形態,以IDM模式從專利布局、產品設計、生產製造,到封裝測試實現完全自主可控。

截至目前,諾視科技已經連續成功點亮0.39英吋和0.12英吋Micro LED微顯示螢幕,其中,諾視科技成功點亮的0.12英吋Micro LED微型顯示螢幕,亮度可達數百萬尼特,像素尺寸3.75μm,是目前全球已知的像素尺寸最小的VGA解析度微顯示器件。

(來源:諾視科技)

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