【2023/11/28】半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技（TWSE: 3055）攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。


需求迅速爆發　SiC基板與元件供不應求　唯KOH是高成本痛點
在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。
化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。


JadeSiC-NK以非線性光學檢測取代現行破壞性KOH蝕刻　可降低成本提高產能
南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。
王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣250萬元，若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣2.5億元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協助客戶在高技術門檻的化合物半導體市場加速製程及產量優化。
國立陽明交通大學光電工程學系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線性光學技術應用在化合物半導體的檢測分析，有助突破目前業界在量產及製程改善的技術瓶頸，對於產業鏈發展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業界SiC基板檢測標準，成為產業界非線性光學技術的領航品牌，引領市場應用持續創新及突破。


從設備代理到自有產品　跨足光學檢測領域　蔚華科前景可期
蔚華科技總經理楊燿州表示，考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過併購南方科技，加速自有產品的發展進程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。
楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經銷合作以來就有互相壯大的默契，成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用，透過客戶的反覆驗證，進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。
光電科技工業協進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家台灣本土企業透過互補雙贏的結合產生綜效，更為產業創造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指標性的技術突破，不但對全球化合物半導體業來說是可以大幅降低成本並增加產能的革命性產品，更能以蔚華與南方科技為代表讓全球看見台灣的技術領導地位，在未來蓬勃發展的化合物半導體市場扮演關鍵角色。

蔚華科與旗下南方科技發表業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統，搶攻化合物半導體檢測分析市場（左起：蔚華科技總經理 楊燿州、蔚華科技董事長 秦家騏、光電科技工業協進會董事長 邰中和、技嘉科技董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理 王嘉業）

蔚華科技與南方科技共同推出業界首創JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，協助化合物半導體客戶節省成本並提高產出

蔚華科與旗下南方科技推出的非破壞性SiC缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部致命性晶體缺陷，以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式。

左起：蔚華科技總經理 楊燿州、光電科技工業協進會董事長 邰中和、陽明交大光電工程系講座教授 郭浩中、南方科技總經理 王嘉業

關於蔚華科技
蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及産品，提供半導體各個製程與不同産品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作夥伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。蔚華集團以專業分工，提供半導體、電子製造、通訊及車用電子等科技産業高品質的整合解決方案。蔚華科技成立於1987年，總部位於台灣新竹，於上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務據點。更多訊息請瀏覽公司官網 www.spirox.com。


關於南方科技
南方科技成立於2014年8月，創辦團隊集合了光學、材料、物理、資訊等跨領域人才，將新穎的光學設計觀念導入光學工程領域。透過先進光學簡單化、模組化、數位化的核心理念（光學模組化、數字化、軟體化的核心理念，讓艱深的光學運用更為友善及簡單），使研究人員專注在研究開發工作，改善實驗設計觀念、提昇研究效率、縮短研發時程、揮灑研發創意，加速研究與産業技術發展的進程。南方科技以『5D顯微術』與『數位光學』兩大核心技術爲基礎，將嶄新的光學觀念與技術導入先進材料分析、生醫影像、顯微3D光學檢測與數位光學應用四大應用領域。在不同的應用領域，南方致力於研發與創新，深入了解行業痛點並且專注解決關鍵問題。更多訊息請瀏覽公司官網 www.southport.com.tw。