天晶12英寸藍寶石襯底量產,可滿足MicroLED制造需求

據投影時代報道,江蘇天晶智能裝備有限公司(以下簡稱“天晶智能裝備”)宣布,其自主研發的12英寸藍寶石襯底與載體晶圓已同步實現規模化量產,年產能達10萬片,良率超97%。

此次量產的12英寸藍寶石襯底直徑控制精度為300±0.5mm,表面粗糙度為0.2納米,位錯密度≤500 cm?2,可耐受2050℃高溫,可滿足GaN外延、Micro LED等高端器件的制造需求。

12英寸藍寶石襯底通過獨創的超高速金剛石線切割技術(線速3000米/分鐘)與磁控濺射工藝,產品外延層位錯密度降低80%,提升LED芯片發光效率。


圖片來源:天晶智能裝備

資料顯示,天晶智能裝備於2015年在深圳創立,起步便專注智能裝備領域。2019 年,公司在徐州設立生產總部,2024 年,為擴大規模,工廠遷至淮安,同年在福建水頭鎮成立分公司,完成全國布局。(LEDinside整理)

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