專訪藍寶石晶棒設備商科瑞斯特:預估該公司設備可在2011年提供市場多達600萬片的LED級藍寶石基板

2010年LED背光TV市場迅速增長,MOCVD機台增加眾多,市場上LED用藍寶石襯底處於供不應求的狀態。而藍寶石晶體生長爐的數量與品質決定了藍寶石襯底的數量與品質。為此LEDinside專訪了LED級藍寶石晶體生設備提供商,香港科瑞斯特科技有限公司副總經理陳 虹 女士,探討藍寶石襯底市場的現狀及發展趨勢。

藍寶石襯底的市場現狀

2010年被業內普遍認為是LED發展的元年,來自歐美國家照明巨頭的資訊回饋,LED燈具在5年內進入普通照明市場是大勢所趨。隨著MOCVD基台數的增長迅猛,LED外延片用的高品質的藍寶石基片供不應求,目前已經安裝的MOCVD大約有三分之一處於停產的狀態,而藍寶石襯底平均價格更是一路從最低8美元/片上漲至30美元/片(2英寸)。

外延片廠商對藍寶石襯底的要求:

1、品質穩定:各批次的產品差異不大、一致性好。

2、錯位密度小:錯位密度是指每平方釐米襯底上缺陷的數量,目前由科瑞斯特ISS3510生產的藍寶石晶體位元錯密度可以做到千級以下,大概在400-600之間。

3、供應鏈跟得上:晶片生產廠家的產能可以迅速與外延片廠商擴產同步。

目前市場上藍寶石生產設備的情況

藍寶石晶體生長設備並不能簡單的進行仿造,必須在擁有晶體生長技術的基礎上,依據晶體生長的原理以及藍寶石晶體所具有的物理化學性能等對設備進行設計。藍寶石晶體生長設備主要包含熱場系統、控制系統、電源、晶轉晶升系統、真空系統、爐腔配套輔組系統等。同時,藍寶石晶體材料也不斷向大直徑、高品質、產業化方向發展,這就要求與之相適應的晶體生長設備向大型化方向發展,具備穩定性好、品質高、自動化程度高、操作使用方便等優點。而現在市場上的同類型藍寶石設備的最大缺點在於:

其一:人工依賴性高。設備的操作需要依靠人經驗的主觀判斷,操作人員的經驗及技術水準決定了產品的品質的好壞,對操作人員的依賴度非常高。

其二:訂單交貨週期長。市場同類設備從訂單下達至正式生產週期平均需要2年的時間,科瑞斯特ISS設備交貨週期可以做:3個月可交付,4個月內調試完畢。

其三:產品一致性差,當前市場上的泡生法設備的錯位密度最好可以做到400-900,但各爐差異較大,例如第一爐為700-800,第二爐可能為400-600,第三爐可能為800-900,各爐不穩定。外延片廠商需要根據不同的錯位密度來制定相應的加工方法,各爐晶體的錯位密度差異大為外延片的加工增加了工藝調試的成本和難度。

科瑞斯特的藍寶石生長爐有什麼優勢

科瑞斯特是專業生產LED外延用藍寶石設備,我們的藍寶石生長設備是全自動化的,科瑞斯特ISS設備最大的優勢是:是把藍寶石晶體的生產過程從藝術變成技術,產品品質穩定可靠。科瑞斯特ISS藍寶石晶體生長爐有以下幾大優勢:

1、 完全自主研發的LSG工藝法,實現了全自動晶體生長,相對原有的泡生法,大大提高了晶體生長速率、產出、一致性。

國際上目前主流的藍寶石晶體生長工藝是泡生法、提拉法、導模以及熱交換法,而泡生法工藝生長的藍寶石晶體約為目前市場份額的70%。泡生法是最合適LED藍寶石生產的方法,生產的晶體品質更高。其他方法生產的晶體品質均不是很好。

科瑞斯特ISS藍寶石晶體生長爐採用的是完全自主研發的LSG工藝法,LSG 工藝法是在泡生法的基礎,做了進一步的工藝優化和改善,從而確保由ISS3510設備生產的晶體位元錯密度可以做到千級以下,並且每批次晶體的一致性非常好,科瑞斯特ISS 設備可以實現每爐之間的差異不超過10%。

2、 科瑞斯特是國內首家提供閉環控制、完全自動化的LED級晶體生長爐。

科瑞斯特 ISS的全系列藍寶石生長爐使用了萬分之五級的高精度電源、先進完善的熱系統、全自動閉環控制系統等眾多先進的設計,並集成了完整可靠的工藝包。

3、 CrystalTech ISS 全自動晶體生長爐同其他同類型設備的比較

項目 CrystalTech ISS全系列藍寶石晶體生長爐 其他廠家
採用工藝 LSG 法 泡生法或提拉法
採用技術 獨立、自主研發 國外技術轉讓或合作
自動化程度 高、全自動、閉環控制 低,依賴於人工手工操作
成品率 高,產品一致性高 較高,但產品一致性不高
晶體位元錯密度 百級 千級 或 萬級
工藝包 帶全套生長工藝包 不帶全套生長工藝包,對設備廠家技術人員依賴性高

4、 科瑞斯特能夠為用戶提供LED級藍寶石晶體生長的交鑰匙工程。

除科瑞斯特外,國內及全世界沒有任何其他一家能夠提供全部LED級藍寶石晶體生長生產工藝及設備的集成全套解決方案。

在售前、售中、售後科瑞斯特均提供完善的服務:售前專案經理進駐廠,協助水電氣的配套規劃等等;售中,工藝經理主要在工藝調試方面提供支援、培訓;售後運營過程支援,由於科瑞斯特設備的自動化程度高,其設備與科瑞斯特的遠端監控伺服器連接,一旦出現設備故障,故障會馬上警報到科瑞斯特的伺服器上,以保證客戶故障及時得到解決。


科瑞斯特的目前客戶情況

目前已經有5-6家的企業和科瑞斯特合作,明年預計會投入200台設備。科瑞斯特的客戶,目前主要在臺灣和中國大陸,臺灣的兩家客戶規劃安裝的設備數量各達到了200台。2011年,科瑞斯特的客戶將可以提供2英寸和4英寸的藍寶石襯底600萬片。今年11月,我們的設備將開始交貨,預計至2011年12月,LED藍寶石襯底供不應求的狀況會得到一定的解決。

LEDinside觀點:

LED外延片用的藍寶石襯底市場在最近一年裏受到市場的廣泛關注,目前已有超過10個企業計畫新進入藍寶石晶體的生產,而相關設備及全套的技術支援是其最需的。科瑞斯特能夠提供全套的包括設備和工藝在內的解決方案,將在市場競爭中處於有利的地位。

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