牛津儀器針對6英吋襯底設備首次推出HVPE設備

展望2009年,牛津儀器針對6英吋襯底設備首次推出HVPE設備。OIPT的等離子設備能用來刻蝕藍寶石襯底,並在GaN沉積之前幫助襯底產生圖案化特徵。一旦沉積完成,設備也能對藍寶石進行腐蝕。牛津儀器的Plasmalab System133 ICP380等離子刻蝕設備,即使在目前經濟大環境下,仍推動OIPT的總銷量達歷史新高。雖然亞洲LED製造商的開銷正在下滑,但仍在進購牛津儀器的等離子刻蝕設備。

在亞洲地區,ICP380客戶能得到高水準的技術支持與服務,設備的處理能力、批量大小和產量吸引著客戶。受固態LCD背光照明的驅動,在即將過去的一年裡,OIPT的等離子系統訂購量是空前的,僅10月份就售出了20套。現在刻蝕系統可應用於2英吋、4英吋和6英吋的襯底。上個月,OIPT按約定交付三套ICP380系統,這是一筆里程碑式的交易,它代表著LED製造商對這項技術的興趣持續加溫。2009年,在位於英國的Yatton廠內,OIPT將為「一個重要的HB-LED製造商」組裝15套設備。該公司銷售總監Mark Vosloo表示,「我們已遞交了一份關於第四套系統的訂購意向書,這個計劃希望進展很快。」OIPT相信在未來9-12個月內,上面提及的那家客戶將訂購剩餘的設備,用它來生產LCD顯示屏的LED背光模組(BLU),比如面向電腦、電視中更薄、更有效的固態照明光源。

2008年4月,OIPT收購了美國的Technologies and Devices International公司,主要目的是對方已開發的HVPE技術,2009年初,OIPT希望開始賣HVPE設備。在最近的季度報告中,全球最大的MOCVD設備供應商AIXTRON以及排名第二的Veeco公司都表示設備訂單量明顯下滑,原因在於,面向BLU市場的亞洲LED製造商的一系列重要訂單在流失,現在這些公司正利用他們自己的系統來加大生產。

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