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全球領先的半導體行業沉積設備提供商AIXTRON 愛思強股份有限公司宣佈,Nano Carbon(波蘭)訂購了愛思強的AIX G5 WW反應器,並將其用於製造碳化矽石墨烯。Nano Carbon擁有低成本外延石墨烯專利技術,可在AIXTRON 愛思強系統上實現。
該設備於2015 年第1季下單,將於第4季交付。系統組態將為每次運行處理10片100 毫米或6片150 毫米基板。
Nano Carbon 成立於2011 年,其基礎是華沙電子材料技術研究所開發的技術。電子材料技術研究所的Wlodek Strupinski 博士評論說:「Nano Carbon 將利用愛思強系統繼續開展碳化矽石墨烯研究,而且,我們還將運用AIX G5 WW完成這項技術的商業化,實現大規模生產」。
AIXTRON 愛思強歐洲區副總裁Frank Schulte 博士補充說:「我們很榮幸能提供該系統參與開發這項前景廣闊的技術,並支援Nano Carbon 擴展業務」。
AIX G5 WW設備適用於碳化矽沉積外延石墨烯所需要的超高溫環境,具備極高的晶圓生產能力。
Nano Carbon 是歐盟石墨烯旗艦專案的准成員,該專案的生產工作由AIXTRON 愛思強主導。Nano Carbon 熱切希望能向各研究團體和致力於開發創新型石墨烯器件的行業提供優質碳化矽石墨烯。