中晟光電設備（上海）有限公司今日上午正式宣布,大型MOCVD設備ProMaxy進入市場。

該公司介紹稱,這種設備專注於超高亮度LED 的大規模生產，具有目前世界上最高的系統產能，可以實現264片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸產能，具有最低的單片外延生產成本，並同時具有良好的波長均勻性及大規模外延生產所需的各項關鍵性能。

ProMaxy適合大規模生產多種器件，包括藍白光LED、綠光LED、紫外光LED以及功率器件等，且簡單更換工藝程序即可實現不同器件的生產。另外,客戶可以根據需要自由選擇配置1-4個反應腔，各個反應腔獨立操作控制，提高設備效率和生產的靈活性。現已有客戶接受多腔ProMaxy並調試進展順利。此外，多家客戶對ProMaxy完成了現場驗機與評估。

公司董事長兼執行長陳愛華博士指出表示：「中晟推出ProMaxy旨在為我們的客戶提供最優的擁有價值和能發揮客戶自身優勢的設備平台，為半導體照明高速發展提供新的活力。」

中晟的客戶漢萊總經理孫明表示，「中晟ProMaxy MOCVD 在兩周內便完成安裝，第二爐便達到85%的亮度指標。經過進一步的調試和驗證，ProMaxy生產出來的1023晶圆在20mA 已達155lm/W；裝入12W 的T8燈管后，整燈光效仍超過140lm/W。」

該公司還在發布會現場與媒體進行了Q&A環節。

Q：中晟光電設備創業的理念及目標是什麼？ProMaxy命名又有何特殊意義？

A:中晟的英文名叫TOPEC，全名Tang Optoelectronics Equipment Corporation，其中「Tang」（唐）自古代表強盛的中國，「TOP」又寓意世界領先。

中晟光電致力於建立一個以中國為基地，世界領先的綠色能源與節能減排高端裝備、核心技術和工藝製程的企業，首先實現一流的LED MOCVD設備的國產化。

而ProMaxy 是由3個英文字縮寫組合而成。「Pro」代表 Productivity（產能）； 「Max」代表Maximum（最大量化）；「y」代表Yield（良率）。組合起來表示最高的產能和最優的良率。

Q：目前外延鏈產能出現過剩狀況，中晟的MOCVD在這種市場狀況下如何切入市場？

A：首先產能過剩是相對的，做得好的企業還在擴充產能。中晟ProMaxy目前主要針對仍在擴充產能的企業，而且今年首要任務是獲得市場驗證和認可，為2014 年銷售和營運盈利顯著增長奠定基礎。

中晟ProMaxy 能為客戶提供最優的擁有價值，能提供目前市場上最高的系統產能和最低的外延營運成本（COO）；不僅適合藍白光LED的外延生產，而且不需更換軟體硬體就可以進行從藍白光轉換成綠光或紫外光的外延生產。

Q：中晟產品與進口設備和其他國產設備比較，分別有何優勢？

A：在與進口設備比較方面，

1. 既能滿足大規模外延生產的需要，提供最低的外延營運成本（COO），同時又能提高EPI效率設備平台的綜合集成的MOCVD設備與技術
2. 提供機台配置和外延生產的靈活性：可單腔數或偶腔數配置，具有混合交替生產藍白光、綠光或紫外光的靈活性
3. 中晟的售后服務是以客為尊，並且配有實驗室及配套的MOCVD設備等設施可供客戶測試新的工藝及培訓工程師

而中晟的目標是首先實現世界領先的LED MOCVD 設備的國產化，打破MOCVD 設備與技術被歐美廠商壟斷的局面，歡迎更多國產的設備幫助實現十二五節能減排目標。ProMaxy的優勢在於它具有自主創新的MOCVD 核心技術的知識產權，而且解決了目前大規模外延生產中設備所存在的關鍵問題。

Q：貴公司的MOCVD一年可以出貨幾台？短期出貨有何預期？

A：目前公司的設備生產能力可達年產80個反應腔。目前已經有一台多腔的ProMaxy機台被長三角地區的客戶接收，正在進行LED晶圆的開發與驗證。另外已有5家客戶完成了現場驗機與評估。今年預計可實現銷售8個反應腔的設備。

Q：ProMaxy 的核心技術是什麼？自主研發的技術有無知識產權？

A：中晟的核心技術包括多項國內外申請的專利和技術秘密，可由5個國內已授權的專利來代表，分別是：

1. 一種外延片托盤及支撐旋轉聯接裝置
2. 一種MOCVD系統及其中反應氣體的排氣裝置
3. 用於MOCVD反應腔中反應氣體輸送與均勻分佈控制的裝置
4. 具有多個外延反應腔的MOCVD系統及其操作方式
5. 用於MOCVD系統中控制外延片溫度及均勻性的裝置與方法

Q：ProMaxy在技術層面還有哪些優勢？

A：首先該產品的良率可參照波長均勻性；片內STD <1nm；片間與批次間Δλ<±2nm。

第二，該產品不僅適合生長藍白光、綠光及紫外光LED，而且可以一爐一爐的交錯獨立地進行外延生長，相互不干擾。

第三，每日可以實現平均2.5 到3 爐的運作。

Q： ProMaxy多腔配置的價格大概多少？

A：中晟產品價格是根據外延營運成本來確定。如不包括襯底基片，設備的價格和生產效率（產能、維護周期等）占單片外延營運成本的約33%，Mo 源、化學氣體、電力及水等消耗約占40%，耗材約占14%。中晟ProMaxy具有最低的單片外延營運成本就是基於這三部分比進口設備均有優勢。因此，與類似產能的機台相比，ProMaxy在價格上要比進口設備低。

Q： 半導體照明節能產業規劃提到會重點支持生產型MOCVD的量產，新產品否符合生產型MOCVD 的定義嗎？

ProMaxy具有自動化裝卸、連續外延生產性能的多腔系統，單腔的產能為66片/2英寸，17片/4 英寸，或8片/6英寸。如系統配置4個反應腔，產能高達264片/2 英寸，68片/4 英寸，或32片/6 英寸。因此ProMaxyTM 是符合而且超過半導體照明產業定義的生產型MOCVD。