韓國多建科技Dageon 成立於2000年，董事長Mr. Son早先於 LG Silitron 擁有12年的工作經驗，對於大部分的製造機器都必須要從國外進口，因此抱著致力於貢獻藍寶石基板市場發展，所以開始研發設計生產機器。

Dageon 在產品設計上,發展了一系列基板生產線的設備，用於藍寶石基板市場發展，包含有全自動陶盤清洗機(Block Cleaner)、全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMP Cleaner)、全自動上蠟機(Auto Mounter)、全自動下蠟機(Auto Demounter) 、Scrubber 、Spin Dryer等等。並擁有陶瓷盤清洗專利。看好4~6吋LED市場發展，Dageon 對於2014年相當看好全自動上蠟機(Auto Mounter)和全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMP Cleaner)設備的市場應用。 全自動上蠟機(Auto Mounter) 包含圓盤裝載、上蠟、卸載 ; 全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMP Cleaner)設備包含圓盤裝載、洗淨清潔、卸載。

[圖] 全自動陶盤晶片免下蠟清洗機(DMP Cleaner)

全自動陶盤晶片免下蠟清洗機為晶片鑽石研磨液研磨後，使用高壓水柱和化學藥劑刷洗,來清洗藍寶石基板表面的殘留化學研磨液. 由於許多客戶在大尺寸制程生產時,將原本CMP使用的Template方式改成貼蠟式,來達到更好的TTV和翹曲BOW的控制,此設備就成為DMP制程至 CMP制程的中段銜接清洗設備,須將鑽石研磨液徹底做清潔,以防CMP制程時前段殘留的鑽石研磨液造成晶片研磨刮傷,所以DMP之後的清潔更是重要. 目前設備主要目標市場為4~6吋晶圓生產以上的客戶,對於產品品質清潔有絕對提升效能。

[圖] 自動上蠟機 (Auto Mounter)

對於LED市場發展，由於晶片廠商考慮到4~6吋藍寶石基板品質及成本優勢，因此Dageon同時自製研發銷售4~6吋藍寶石基板專用全自動上蠟設 備，自動化生產流程，從傳送、上蠟、接合、烘烤、壓合 ; 以485mm陶盤來計算產能,2吋一圈可貼23片(每月產能約6萬片以上), 4吋一圈可貼10片(每月產能約5萬片) ， 6吋外圈可貼6片(每月產能約4萬片)，這對於後段研磨拋加工制程品質控制有絕對的效益,相對產能提升更能突顯出來。

[圖] 自動拆卸機 (Auto Demount)

將藍寶石基板從DMP或CMP加工後的陶盤上,藉由陶盤加熱,將液態蠟融化之後,進行晶片與陶盤分離的拆卸設備。

[圖] 洗刷機(Auto Scrubber)

洗刷機為清洗藍寶石基板表面粒子的設備。晶片從清洗、甩幹、傳送到Loader，由於不需使用化學藥劑，只需使用DI Water，相當的節省成本。

目前上述各項機台皆有使用客戶群，韓國客戶包含LG Silitron、STA、Iljin、Hansol。中國客戶則包含蘇州海鉑(Hyperion) 、重慶四聯(SILIAN)、南晶京晶 (NJC)、貴州皓天(HTOT) 、華樂光電(Huale)等。因應未來市場4~6吋的發展，Dageon 仍持續提升設備技術，希望能提高生產速度和降低設備上耗材使用的成本,來滿足更多LED藍寶石上游生產製造的客戶們。