松下開發出將Si基板上氮化鎵(GaN)晶體管的耐壓提高至5倍以上的技術

松下半導體(Panasonic Semiconductor)開發出了可將硅(Si)基板上形成的氮化鎵(GaN)功率晶體管的耐壓提高至5倍以上的技術,有望實現3000V以上的耐壓。 

松下半導體解明了GaN功率晶體管的耐壓只取決於GaN膜耐壓的原因,並對該問題產生的原因——流過硅基板和GaN表面的洩漏電流進行了抑制,從而提高了GaN功率晶體管的耐壓。使GaN膜厚度達到1.9μm,耐壓達到2200V,提高至原來的5倍以上。

此外,松下半導體表示,如果使用過去曾報告過的9μm的GaN膜厚度,將有可能實現3940V的耐壓。 

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