簡述LED晶片生產過程與何謂MOCVD?

LED晶圓(外延片)
LED晶片產生前的LED晶圓磊晶生長的基本原理是:在一塊加熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和、SiC、Si)上,氣態物質InGaAlP有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶薄膜。目前LED外延片生長技術主要採用有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)方法。

MOCVD
金屬有機物化學氣相澱(Metal-OrganicChemicalVaporDeposition,簡稱 MOCVD), 1968年由美國洛克威爾公司提出來的一項製備化合物半導體單品薄膜的新技術。該設備集精密機械、半導體材料、真空電子、流體力學、光學、化學、電腦多學科為一體,是一種自動化程度高、價格昂貴、技術集成度高的尖端光電子專用設備,主要用於GaN(氮化鎵)系半導體材料的外延生長和藍色、綠色或紫外發光二極體晶片的製造,也是光電子行業最有發展前途的專用設備之一。

LED晶片的生產過程
LED晶圓(外延片)的生產製作過程比較複雜:
1.展完外延片後在每張外延片隨意抽取九點做測試。符合要求的為良品,其他為不良品(電壓偏差很大,波長偏短或偏長等)。
2.良品的外延片要做電極(P極,N極)。接下來就用鐳射切割外延片,然後100%分撿,根據不同的電壓,波長,亮度進行全自動化分檢,形成LED晶片(方片)。
3.最後還要進行目測,把有缺陷或者電極有磨損的分撿出來,這些就是後面的散晶。此時在藍膜上有不符合出貨要求的晶片,這些就成了邊片或毛片等。不良品的外延片,一般不用來做方片,就直接做電極(P極,N極),也不用做分檢,這些就是目前市場上的LED大圓片。

晶圓技術的成功需要具備以下三個條件:
1.對設備的精確掌握。MOVCD由於各項成本很高,保養週期以及配件的準備充分都很重要。
2.外延原理的掌握,材料的成長需要具備物理、材料學和分析技術三項基本功夫,能掌握這些,材料的生長就可具備一定的能力。
3.持之以恆的實驗精神,外延結果需要恒心的等待,因為除了基本的分析外,結果的觀察與紀錄,做成LED晶片結果的分析,都需要耐心與恒心。
 

RSS RSS     print 列印     mail 分享     announcements 線上投稿        
【免責聲明】
1、「LEDinside」包含的內容和資訊是根據公開資料分析和演釋,該公開資料,屬可靠之來源搜集,但這些分析和資訊並未經獨立核實。本網站有權但無此義務,改善或更正在本網站的任何部分之錯誤或疏失。
2、任何在「LEDinside」上出現的資訊(包括但不限於公司資料、資訊、研究報告、產品價格等),力求但不保證資料的準確性,均只作為參考,您須對您自主決定的行為負責。如有錯漏,請以各公司官方網站公佈為準。
3、「LEDinside」資訊服務基於"現況"及"現有"提供,網站的資訊和內容如有更改恕不另行通知。
4、「LEDinside」尊重並保護所有使用用戶的個人隱私權,您註冊的用戶名、電子郵寄地址等個人資料,非經您親自許可或根據相關法律、法規的強制性規定,不會主動地洩露給協力廠商。
【版權聲明】
「LEDinside」所刊原創內容之著作權屬於「LEDinside」網站所有,未經本站之同意或授權,任何人不得以任何形式重制、轉載、散佈、引用、變更、播送或出版該內容之全部或局部,亦不得有其他任何違反本站著作權之行為。